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紫外光刻機

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項目介紹

工作原理:將設計的掩模圖形通過光刻機曝光轉移到涂有光刻膠的晶片上。

樣品要求

1.紫外光波長:365nm,曝光能量密度18-20mW/cm2可調

2. 樣品尺寸:6英寸及以下

3. 分辨率:接觸曝光<0.5μm,接近式曝光≤1μm

4.對準精度:<1μm

項目案例

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1. 復測保證

如果在訂單完成之后7天內對結果存疑,可申請同條件免費復測,更換條件或者參數不能參與免費復測保障服務,全程由專業團隊操作,確保結果有效性;

2. 具體細則

每單限1次復測機會,單次需小于5個樣品; 此外免費復測樣品必須為同一樣,私人定制、云視頻測試不可享受此服務;

3. 注意事項

如果由于您自身樣品的情況(樣品有問題/選錯測試條件等)將不可享受此服務;

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