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項目介紹

電子束光刻（EBL）是一種利用高能電子束在電子抗蝕劑表面進行納米級圖形直寫的加工技術，其核心原理是通過電子束與材料的相互作用實現微納結構的精確加工。

電子束由電子槍發射，經電磁透鏡聚焦后，在真空環境中掃描至涂有電子敏感光刻膠（如PMMA、HSQ）的基片表面。電子束與光刻膠發生化學反應（如分子鏈斷裂或交聯），改變其在顯影液中的溶解度，最終形成所需圖形

樣品要求

1、適用于2英寸及以下尺寸的樣品，樣品高度小于2 mm，直徑小于2英寸。

2、干燥固體樣品，樣品表面干凈，無油污，無磁性。

項目案例

各種金以及光柵結構加工案例圖

溝道結構加工圖

常見問題
1、有哪些光刻技術？

光刻技術包括：光刻蝕（Photolithography）、電子束光刻（Electron Beam Lithography，EBL）、X射線光刻（X-ray Lithography）、極紫外光刻（Extreme Ultraviolet Lithography，EUV）、納米壓印光刻（Nanoimprint Lithography，NIL）、掃描探針光刻（Scanning Probe Lithography，SPL）


2、為什么EBL不用于大規模工業生產？

EBL沒有在工業大規模生產中使用，因為它是一個緩慢且昂貴的過程，不適合大規模制造。此外，與其它光刻技術如光刻蝕相比，它具有有限的吞吐量和擴展性。

3、與光刻法的分辨率相比，EBL的分辨率有何限制？

EBL的分辨率受到電子束尺寸、鄰近效應和背散射等因素的限制，而光刻蝕的分辨率受到光源波長和衍射效應的限制。雖然EBL通常提供比光刻蝕更高的分辨率，但它的速度更慢且成本更高。

4、光刻工藝的一般目的？

光刻工藝的總體目標是將掩模或計算機文件中的圖案以高精度和準確性轉移到涂覆在基板上的光敏材料（光阻劑）上。

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