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深能級瞬態譜（DLTS）

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深能級瞬態譜（DLTS）

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董琛琛

PL測試工程師

2年透射電鏡（TEM）測試經驗。擅長低電壓TEM和負染色技術，以及熒光光譜測試。

項目介紹

深能級瞬態譜（Deep Level Transient Spectroscopy, DLTS）是一種高靈敏度電學測試技術，專門用來定量檢測半導體中微量雜質、缺陷的深能級及界面態。通過對樣品的溫度掃描，可以給出表征半導體禁帶范圍內的雜質、缺陷深能級及界面態隨溫度（即能量）分布的DLTS 譜。簡單說，它能告訴你：“樣品里有哪些‘陷阱’，這些陷阱有多深、有多少、對器件性能影響多大。”

深能級瞬態譜（DLTS）的原理可以概括為“電-熱瞬態指紋”：先在半導體結上施加偏壓脈沖，把多數載流子注入并填滿禁帶中的深能級缺陷（陷阱）；脈沖結束后回到反向偏置，這些被俘獲的載流子將隨溫度升高以特征時間常數釋放，導致結電容產生指數衰減瞬態。通過在不同溫度下記錄電容瞬態，并用速率窗（rate-window）或傅里葉變換提取時間常數，可繪制出 Arrhenius 圖，從而定量給出缺陷的激活能、濃度、俘獲截面及空間分布。

DLTS 廣泛應用于功率與高頻器件、光伏和光電器件的材料缺陷診斷與工藝優化。具體例子包括：在 GaN HEMT 中識別導致動態 RON 升高的界面陷阱；在 SiC MOSFET 中量化碳空位缺陷以降低柵氧漏電；在鈣鈦礦太陽能電池中定位影響載流子壽命的深能級；以及在量子阱激光器里評估生長缺陷對閾值電流的影響。因其高靈敏度（可檢出濃度低至 101? cm?3 的陷阱），DLTS 已成為寬禁帶半導體和第三代器件可靠性研究的標準工具。

樣品要求

1、器件封裝好，整體長度最好不超過4cm，有兩根引線；

2、樣品需要具有好的導電性。

3、脈沖發生器電壓范圍：±20.4 V（可選 ±102 V）；脈沖寬度：1 μs – 1000 s。電容測量高頻信號：100 mV @ 1 MHz（可選 20 mV）；電容范圍：3 pF、30 pF、3000 pF（自動或手動）；靈敏度：0.01 fF。電壓測量范圍：±10 V；靈敏度：< 1 μV。溫度范圍：30 K – 450 K。電阻范圍：0.1 mΩ – 10 GΩ。

4、可測試：C-V，I-V-T，DLTS。

項目案例
常見問題
1、電致發光光譜和光致發光光譜的區別是什么？

EL光譜：激發方式為電注入，得到器件實際工作狀態下的發光情況；

PL光譜：激發方式為光激發，得到的是材料本征發光性質。

深能級瞬態譜（DLTS）

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