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當(dāng)前位置：材料測(cè)試 ?  力學(xué)性能 ? 

薄膜應(yīng)力測(cè)試儀

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薄膜應(yīng)力測(cè)試儀

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項(xiàng)目介紹

薄膜應(yīng)力測(cè)試儀（Film Stress Tester, FST）  
型號(hào)：FST-5000  
儀器原理：激光曲率法，基于經(jīng)典基片彎曲法Stoney公式測(cè)量原理，采用先進(jìn)的激光掃描方式和探測(cè)技術(shù)，以及智能化的操作，使得FST5000薄膜應(yīng)力儀特別適合于晶圓類光電薄膜樣品的弓高、輪廓形貌、曲率半徑和薄膜應(yīng)力測(cè)量。
功能： 主要用于非破壞性檢測(cè)晶圓基底、薄膜等材料的輪廓形貌、弓高、翹曲度、曲率半徑和薄膜應(yīng)力。可量化應(yīng)力大小及分布，幫助優(yōu)化工藝，避免因應(yīng)力過大導(dǎo)致的晶圓翹曲、薄膜脫落等問題。適用材料包括二氧化硅（SiO?）、氮化硅（Si?N?）、GaN、SiC、金屬及低介電常數(shù)（Low-k）材料等。  
應(yīng)用范圍：適合于晶圓類光電薄膜樣品的弓高、輪廓形貌、曲率半徑和薄膜應(yīng)力測(cè)量。

樣品要求

1、樣品尺寸最大12英寸，向下兼容10、8、6、 4、 3、 2、 1英寸

2、薄膜厚度目前沒有明顯要求（一般說的薄膜或者晶圓，厚度都是微米級(jí)~幾個(gè)mm以內(nèi)）

3、.薄膜應(yīng)力測(cè)試范圍：5～10000 MPa

4、曲率半徑測(cè)試范圍：2～20000 m

5、最小步長(zhǎng)：0.1 mm

6、需要提供薄膜的厚度值，作為評(píng)估和測(cè)試的參考

7、測(cè)試一般分為兩個(gè)步驟，先測(cè)一次沒有鍍膜的空白基底材料的曲率情況，鍍膜完成后再測(cè)一次鍍膜后引起的曲率變化，兩者相減，計(jì)算得到薄膜應(yīng)力。因此最好是鍍膜前后分別送樣測(cè)試，可以得到準(zhǔn)確的應(yīng)力結(jié)果，如果一次性提供一片空白基底以及鍍膜以后的一片樣品一起測(cè)試，也可得到相關(guān)數(shù)值，但是結(jié)果準(zhǔn)確度會(huì)有降低

8、數(shù)據(jù)輸出：含圖文，數(shù)據(jù)的pdf文件，或者excel數(shù)據(jù)表

項(xiàng)目案例

6英寸硅晶圓襯底弓高翹曲曲線

6英寸硅晶圓襯底表面3D形貌

TiN金屬薄膜表面3D形貌

3D輪廓

曲率/應(yīng)力分布

弓高/翹曲度

薄膜應(yīng)力測(cè)試儀

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安心測(cè)服務(wù)說明
關(guān)閉
7天無理由
7天無理由免費(fèi)復(fù)測(cè)
1. 復(fù)測(cè)保證

如果在訂單完成之后7天內(nèi)對(duì)結(jié)果存疑,可申請(qǐng)同條件免費(fèi)復(fù)測(cè)，更換條件或者參數(shù)不能參與免費(fèi)復(fù)測(cè)保障服務(wù)，全程由專業(yè)團(tuán)隊(duì)操作，確保結(jié)果有效性；

2. 具體細(xì)則

每單限1次復(fù)測(cè)機(jī)會(huì)，單次需小于5個(gè)樣品; 此外免費(fèi)復(fù)測(cè)樣品必須為同一樣，私人定制、云視頻測(cè)試不可享受此服務(wù)；

3. 注意事項(xiàng)

如果由于您自身樣品的情況(樣品有問題/選錯(cuò)測(cè)試條件等)將不可享受此服務(wù)；

我知道了
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