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FIB聚焦離子束技術在檢測樣品時樣品的制備流程解析
來源: 時間:2023-12-18 16:58:58 瀏覽:4713次

FIB聚焦離子束技術在檢測樣品時樣品的制備流程解析


聚焦離子束FIB技術是一種基于離子光學原理的微納米加工技術,其具有高精度、高效率、實時性好等優點。FIB技術在我國科研、工業等領域得到了廣泛的應用,尤其在樣品制備方面,FIB技術具有獨特的優勢。本文將詳細介紹FIB技術在樣品制備中的應用及制樣流程。


FIB聚焦離子束


FIB聚焦離子束技術原理

FIB技術是利用聚焦的離子束對樣品進行高精度、高效率的加工。其基本原理是將離子源產生的離子束經過聚焦、掃描等處理后,使其在樣品表面形成一個高能量密度的離子束斑點,通過調節離子束的參數,實現對樣品的切割、拋光等加工過程。


FIB聚焦離子束制樣流程

樣品固定:將待制備的樣品固定在FIB設備的工作臺上,確保樣品在加工過程中保持穩定。常見的固定方式有機械夾持、真空吸附等。

離子束掃描:開啟離子源,使離子束在樣品表面進行掃描,調整離子束的掃描速度、束流等參數,觀察樣品表面的反應,為后續加工過程做好準備。

離子束切割:根據樣品的形貌和結構,設定離子束的切割路徑。通過調節離子束的參數,實現對樣品的切割。在切割過程中,需要注意切割速度、離子束直徑等參數的優化,以保證切割質量。

離子束拋光:在切割完成后,利用離子束對樣品進行拋光,以去除切割過程中產生的損傷層和雜質。拋光過程中,需要關注離子束的參數調節,以及拋光液的選用。

樣品轉移:將制備好的樣品從FIB設備上取下,轉移到其他分析設備(如掃描電子顯微鏡透射電子顯微鏡等)上進行進一步分析。

數據采集與處理:在樣品制備過程中,實時采集離子束加工參數、樣品形貌等信息,并對數據進行分析處理,以便優化制備過程。



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12條評論
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全部 3小時前 四川
文字是人類用符號記錄表達信息以傳之久遠的方式和工具。現代文字大多是記錄語言的工具。人類往往先有口頭的語言后產生書面文字,很多小語種,有語言但沒有文字。文字的不同體現了國家和民族的書面表達的方式和思維不同。文字使人類進入有歷史記錄的文明社會。
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