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FIB-SEM電鏡技術在材料分析中的應用及優勢
來源: 時間:2023-10-08 15:56:19 瀏覽:5972次

FIB-SEM電鏡技術在材料分析中的應用及優勢


掃描電子顯微鏡SEM)是一種廣泛應用于材料表面形貌、形變及組成分析的設備。然而,在處理一些復雜、不規則的樣品以及需要進行精細切割、觀察內部結構的樣品時,傳統的SEM存在局限性。為了克服這些限制,聚焦離子束-掃描電子顯微鏡(FIB-SEM)應運而生。


FIB-SEM電鏡原理


FIB-SEM電鏡的組成及原理

FIB-SEM電鏡是一種集聚焦離子束FIB)與掃描電子顯微鏡(SEM)于一體的分析設備。FIB-SEM通過聚焦離子束對樣品進行局部放電,實現對樣品的切割、銑削、拋光等處理,同時利用掃描電子顯微鏡對樣品表面進行觀察和分析。

聚焦離子束原理

聚焦離子束是一種高能密度的離子束,通過將離子束聚焦在納米至微米尺度,實現對樣品的高精度切割和處理。在FIB-SEM電鏡中,聚焦離子束通常由液態金屬離子源產生,通過加速電壓將其引導至樣品表面。聚焦離子束具有高能量密度、高束流穩定性和可調束徑等優點,使其成為一種非常有效的樣品制備手段。

掃描電子顯微鏡原理

掃描電子顯微鏡是一種利用電子束掃描樣品表面,通過觀察樣品產生的二次電子或反射電子來獲取樣品表面形貌信息的設備。在FIB-SEM電鏡中,掃描電子顯微鏡與聚焦離子束共用一個樣品腔,可以實現對樣品的實時觀察和分析。


FIB聚焦離子束


FIB-SEM電鏡的優勢

高分辨率

FIB-SEM電鏡具有較高的空間分辨率,可以觀察到納米至微米尺度的樣品細節。此外,通過聚焦離子束的精細加工,可以實現對樣品的高精度切割和觀察。

高效率

FIB-SEM電鏡可以實現對樣品的實時切割、拋光和觀察,提高了樣品制備和分析的效率。

多功能

FIB-SEM電鏡集聚焦離子束和掃描電子顯微鏡于一體,可以實現對樣品的切割、拋光、焊接等多種處理,以及表面形貌、組成和結構等多方面的分析。

適應性廣

FIB-SEM電鏡可以對各種材料進行分析,包括金屬、陶瓷、聚合物等,具有較強的適應性。

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12條評論
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全部 3小時前 四川
文字是人類用符號記錄表達信息以傳之久遠的方式和工具。現代文字大多是記錄語言的工具。人類往往先有口頭的語言后產生書面文字,很多小語種,有語言但沒有文字。文字的不同體現了國家和民族的書面表達的方式和思維不同。文字使人類進入有歷史記錄的文明社會。
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