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聚焦離子束FIB測試的計量技術規范盤點
來源: 時間:2022-11-14 15:23:09 瀏覽:2984次

聚焦離子束系統采用聚焦的離子束對樣品表面進行轟擊,并由計算機控制離子束的掃描或加工軌跡、步距、駐留時間和循環次數,以實現對材料的成像、刻蝕、誘導沉積和注入的分析系統。其應用已經從界面檢測擴展到納米圖像制備、透射樣品制備、三維成像和分析、電路編輯和修復等,在材料科學、生物、半導體集成電路、數據存儲磁盤等領域有廣泛的應用。


但由于聚焦離子束系統在長期使用過程中離子束流強度、能量等的變化,導致其測量出現較大誤差,對于使用過程中量值準確性的保證、項目驗收等都存在極大的困難。所以迫切需要建立聚焦離子束系統的量傳體系,為納米技術領域的精準測量提供技術保障。


FIB計量規范的主要技術關鍵:

 

1、標準器的選擇:根據不同的計量特性,合理地選擇校準用標準器,并直接溯源到國家基準。

 

2、長度測量誤差:為了對放大范圍內長度測量誤差進行全面的校準,需要根據不同的放大倍率選擇間距合適的標準器,確保在測量時,圖像中可完整顯示5個以上周期,以降低瞄準不確定性的影響。通過重心法確定評定長度,重復測量10次,以減少測量不確定度。

 

3、長度測量重復性:根據長度測量誤差校準項目的測量條件,重復測量10次,取實驗標準差作為長度測量重復性的校準結果。

 

4、線性失真度:標準器選擇二維標準柵格。在一定放大倍數下,測量二維柵格樣板,選取一個柵格,分別平移到圖像的中心和四角,各獲取一幅圖像,分別計算X、Y方向的線性失真度。

 

5、正交誤差:標準器選擇二維標準柵格。為減小正交誤差,必須選取正交方向5個間隔以上的周期進行測量,并且重復測量3次,取均值作為示值。


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12條評論
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全部 3小時前 四川
文字是人類用符號記錄表達信息以傳之久遠的方式和工具?,F代文字大多是記錄語言的工具。人類往往先有口頭的語言后產生書面文字,很多小語種,有語言但沒有文字。文字的不同體現了國家和民族的書面表達的方式和思維不同。文字使人類進入有歷史記錄的文明社會。
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