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X射線(xiàn)光電子能譜法XPS測(cè)試的特點(diǎn)及制樣要求
來(lái)源: 時(shí)間:2022-08-24 16:42:34 瀏覽:9980次

X射線(xiàn)光電子能譜(XPS是電子材料與元器件顯微分析下的一種表面分析方法,該方法常常和俄歇電子能譜技術(shù)(AES配合使用,XPS的原理是用X射線(xiàn)去輻射樣品,使原子或分子的內(nèi)層電子或價(jià)電子受激發(fā)射出來(lái),通過(guò)測(cè)量被光子激發(fā)出來(lái)的電子能量,以光電子的動(dòng)能/束縛能(binding energyEb=hv光能量-Ek動(dòng)能-w功函數(shù))為橫坐標(biāo),相對(duì)強(qiáng)度(脈沖/s)為縱坐標(biāo)而做出光電子能譜圖,最終獲得試樣有關(guān)信息。

XPS數(shù)據(jù)分析


一、X射線(xiàn)光電子能譜法的特點(diǎn)

1、可以分析除 H He 以外的所有元素;可以直接測(cè)定來(lái)自樣品單個(gè)能級(jí)光電發(fā)射電子的能量分布,且直接得到電子能級(jí)結(jié)構(gòu)的信息。

2、從能量范圍看,如果把紅外光譜提供的信息稱(chēng)之為分子指紋,那么電子能譜提供的信息可稱(chēng)作原子指紋。它提供有關(guān)化學(xué)鍵方面的信息,即直接測(cè)量?jī)r(jià)層電子及內(nèi)層電子軌道能級(jí)。而相鄰元素的同種能級(jí)的譜線(xiàn)相隔較遠(yuǎn),相互干擾少,元素定性的標(biāo)識(shí)性強(qiáng)。

3、是一種無(wú)損分析。

4、是一種高靈敏超微量表面分析技術(shù)。分析所需試樣極少量即可,樣品分析深度0.5-10nm

二、X 射線(xiàn)光電子能譜法的應(yīng)用:

1、元素定性分析

2、元素定量分折

3、固體表面分析

4、化合物結(jié)構(gòu)簽定

二、X射線(xiàn)光電子能譜法的制樣要求

1.預(yù)處理尺寸要求:塊狀/片狀/薄膜:長(zhǎng)寬厚不超出1 cm × 1 cm × 3 mm(磁性樣品盡量小)(對(duì)塊狀樣品或薄膜樣品的測(cè)試面做好標(biāo)記);粉末樣品大于200目,不少于10mg,量少請(qǐng)用稱(chēng)量紙包好再裝到管子里寄送。請(qǐng)勿用手觸摸樣品表面,會(huì)引入污染。制好樣后請(qǐng)盡快密封,避免其他物質(zhì)污染;

2.送樣前樣品需充分干燥,否則影響儀器真空度。高分子樣品在送樣前應(yīng)進(jìn)行干燥處理。若含有高揮發(fā)性分子等請(qǐng)務(wù)必烘烤。

3.樣品含有硫或碘等鹵族元素請(qǐng)務(wù)必填寫(xiě)或者提前告知,避免污染高真空系統(tǒng);

4.樣品在超高真空及在X射線(xiàn)、紫外線(xiàn)、電子束或Ar離子束照射下應(yīng)穩(wěn)定,不分解、不釋放氣體。


測(cè)試狗


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文字是人類(lèi)用符號(hào)記錄表達(dá)信息以傳之久遠(yuǎn)的方式和工具。現(xiàn)代文字大多是記錄語(yǔ)言的工具。人類(lèi)往往先有口頭的語(yǔ)言后產(chǎn)生書(shū)面文字,很多小語(yǔ)種,有語(yǔ)言但沒(méi)有文字。文字的不同體現(xiàn)了國(guó)家和民族的書(shū)面表達(dá)的方式和思維不同。文字使人類(lèi)進(jìn)入有歷史記錄的文明社會(huì)。
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